再用微压差计逐一测量封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的洁净室压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从最里面的房间，通常也是洁净级别最高的房间与其紧邻的房间之间压差测起。如此继续下去，直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。