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洁净室压差检测的基本概念及意义
洁净室的压差就是洁净室与周围空间所必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏。病毒实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。
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